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EAP系統(tǒng) MES烤箱 450高溫?zé)o氧烘箱
450度高溫?zé)o氧烤箱主要做BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別)、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干,電工產(chǎn)品、材料、零備等高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。
450度高溫?zé)o氧烤箱主要技術(shù)指標(biāo)
1、潔凈等級:Class100級
2、含氧量:<=20PPM
3、使用溫度:RT~400℃,最高溫度:450℃;
4、腔體數(shù)量:2個,上下布置;獨立控溫
5、爐膛材料:SUS304鏡面不銹鋼;加熱元件:不銹鋼加熱器;熱偶
6、空爐升溫時間:1.5h;
7.空爐降溫時間:375℃--80℃;降溫時間1.5-3.5小時 (采用水冷及風(fēng)冷);
8.智能控制系統(tǒng):日本歐姆龍PCL+PC工控電腦
智能控制系統(tǒng)特點:
◆ 可接入MES和ERP通訊
◆ 權(quán)限分級管理,給每個管理者、工程師、操作員獨立用戶名和密碼
◆ 智能控制系統(tǒng),歷史數(shù)據(jù)、操作、報警,事件等等數(shù)據(jù)查詢,記憶操作步驟,操作便捷
◆ PC 內(nèi)部記錄數(shù)據(jù),使用 Excel 等常用軟件可以讀取,最短數(shù)據(jù)記錄間隔5S;
工藝線標(biāo)準(zhǔn)
1、在常溫下以3-5℃/min升溫速率升溫40分鐘到200℃
2、200℃狀態(tài)下恒溫45分鐘
3、再40min升到375℃
4、375℃恒溫1H
5、最后以每分鐘3-5℃的降溫速率,79min左右從375℃降到75℃
公司名稱:上海旦順實業(yè)有限公司
EAP系統(tǒng) MES烤箱 450高溫?zé)o氧烘箱